SS304 SS316L 真空电磁角阀不锈钢电动真空角阀，适用于半导体行业

型号:VZL01

商品编号:VZL01

操作方式:

阀体:

阀座密封件材质:

波纹管:

尺寸.:

电磁阀电压:

位置指示器:

角阀是一种通过手动或气动旋转螺纹来驱动阀杆上下运动的装置，它能使阀座打开或关闭，从而控制真空系统中的气流通断。阀体设计有90°直角（L型）和45°直角（Y型）两种类型。连接法兰有KF、ISO、CF等多种类型，此外还有管端可供选择。角阀适用于高真空环境，额定压力范围为1×10⁻⁶ ^Pa至1.2× ^10⁵ Pa，泄漏率为1.3× ^10⁻⁷ Pa L/s。手动角阀在无需自动化控制的情况下是一种理想的解决方案，常用于粗抽和高真空前级管路，也是优秀的腔室排气阀。

启明角阀的应用范围十分广泛，涵盖半导体制造、等离子体物理研究以及核加速器等领域。启明提供全系列角阀，适用于高真空应用，例如高真空工艺流程、泵送系统中的高真空应用、半导体技术和研究系统。

技术参数

阀体材料		SS304/SS316L
座圈密封材料		FKM、NBR（可选）
应用范围	贝洛	1×10⁻⁶ Pa - 1.2×10⁵ Pa
	没有贝洛	1×10⁻⁶ Pa - 1.2×10⁵ Pa
泄漏率	贝洛	1.3×10⁻⁷ Pa L/s
	没有贝洛	1.3×10⁻⁶ Pa L/s
服务周期	贝洛	15万-20万次
	没有贝洛	1,000,000 次
烘烤温度		开启温度：200°C，关闭温度：150°C
安装位置		任何方向
压缩空气		0.4-0.8兆帕
开/关速度		≤1秒
温度范围	FKM座椅密封圈	-30°C 至 150°C（约）
	丁腈橡胶座密封圈	-25°C 至 80°C（约）
电磁阀电压		AC220V，50Hz，6W 或按需定制
配备位置指示器		可选信号反馈

电磁角阀（SS304铝合金阀体）


适用于 304/铝	尺寸	A/mm	厘米/毫米	直径/毫米	E/mm	焦距/毫米	克/毫米
VZL01DC4311K16	KF16	167.5	35	48	62.5	44	39
VZL01DC4311K25	KF25	187	45	56	73.5	50	44
VZL01DC4311K40	KF40	221	55	78	94.5	73	63
VZL01DC4311K50	KF50	245	65	84	107.5	78	69