Electromagnetic Angle Valve
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铝制真空电磁角阀 KF/NW16-50 半导体用电动真空角阀

型号:VZL01

商品编号:VZL01

操作方式:
电磁
  • 电磁
阀体:
SS304
  • SS304
  • SS316L
波纹管:
无波纹管
  • 无波纹管
  • 不锈钢波纹管
  • 焊接波纹管
尺寸.:
KF16
  • KF16
  • KF25
  • KF40
  • KF50
电磁阀电压:
无电磁阀
  • 无电磁阀
  • 220V AC
  • 110V AC
  • 24V DC
  • 12V DC
位置指示器:
1个传感器
  • 1个传感器
  • 2个传感器
  • 无位置指示器

角阀是一种通过手动或气动旋转螺纹来驱动阀杆上下运动的装置,它能使阀座打开或关闭,从而控制真空系统中的气流通断。阀体设计有90°直角(L型)和45°直角(Y型)两种类型。连接法兰有KF、ISO、CF等多种类型,此外还有管端可供选择。角阀适用于高真空环境,额定压力范围为1×10⁻⁶ Pa至1.2× 10⁵ Pa,泄漏率为1.3× 10⁻⁷ Pa L/s。手动角阀在无需自动化控制的情况下是一种理想的解决方案,常用于粗抽和高真空前级管路,也是优秀的腔室排气阀。

启明角阀的应用范围十分广泛,涵盖半导体制造、等离子体物理研究以及核加速器等领域。启明提供全系列角阀,适用于高真空应用,例如高真空工艺流程、泵送系统中的高真空应用、半导体技术和研究系统。

技术参数

阀体材料SS304/SS316L
座圈密封材料FKM、NBR(可选)
应用范围贝洛1×10⁻⁶ Pa - 1.2×10⁵ Pa
没有贝洛1×10⁻⁶ Pa - 1.2×10⁵ Pa
泄漏率贝洛1.3×10⁻⁷ Pa L/s
没有贝洛1.3×10⁻⁶ Pa L/s
服务周期贝洛15万-20万次
没有贝洛1,000,000 次
烘烤温度开启温度:200°C,关闭温度:150°C
安装位置任何方向
压缩空气0.4-0.8兆帕
开/关速度≤1秒
温度范围FKM 座圈密封件-30°C 至 150°C(约)
丁腈橡胶座密封圈-25°C 至 80°C(约)
电磁阀电压AC220V,50Hz,6W 或按需定制
配备位置指示器可选信号反馈

电磁角阀(铝制阀体)

适用于 304/铝尺寸A/mm厘米/毫米直径/毫米E/mm焦距/毫米克/毫米
VZL01DC4311K16 KF16 167.5 35 48 62.5 44 39
VZL01DC4311K25 KF25 187 45 56 73.5 50 44
VZL01DC4311K40 KF40 221 55 78 94.5 73 63
VZL01DC4311K50 KF50 245 65 84 107.5 78 69

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