Pneumatic L Type ISO Angle Valves with Bellow
Pneumatic L Type ISO Angle Valves with Bellow

不锈钢 ISO 真空气动 L 型 ISO 角阀,带波纹管 NC SS304 SS36L 角阀,适用于半导体行业

型号:VZL01

商品编号:VZL01

操作方式:
手动塑料手轮
  • 手动塑料手轮
  • 手动不锈钢手轮
  • 气动(弹簧常开)
  • 气动(弹簧常闭)
  • 气动(双作用)
  • 电磁
阀体:
SS304
  • SS304
  • SS316L
阀座密封件材质:
氟橡胶
  • 氟橡胶
  • 丁腈
波纹管:
无波纹管
  • 无波纹管
  • 不锈钢波纹管
  • 焊接波纹管
尺寸.:
ISO63
  • ISO63
  • ISO80
  • ISO100
  • ISO125
  • ISO160
  • ISO200
  • ISO250
电磁阀电压:
无电磁阀
  • 无电磁阀
  • 220V AC
  • 110V AC
  • 24V DC
  • 12V DC
位置指示器:
1个传感器
  • 1个传感器
  • 2个传感器
  • 无位置指示器

手动操作角阀是无需自动化时的理想选择,常用于粗加工和高真空前级管路,也是优秀的腔室排气阀。启明角阀的应用范围广泛,涵盖半导体制造、等离子体物理研究以及核加速器等领域。启明提供全系列适用于真空应用的角阀,例如高真空工艺流程、泵送系统中的高真空应用、半导体技术和科研系统。

技术参数

阀体材料SS304/SS316L
座圈密封材料FKM、NBR(可选)
应用范围贝洛1×10⁻⁶ Pa - 1.2×10⁵ Pa
没有贝洛1×10⁻⁶ Pa - 1.2×10⁵ Pa
泄漏率贝洛1.3×10⁻⁷ Pa L/s
没有贝洛1.3×10⁻⁶ Pa L/s
服务周期贝洛15万-20万次
没有贝洛1,000,000 次
烘烤温度开启温度:200°C,关闭温度:150°C
安装位置任何方向
压缩空气0.4-0.8兆帕
开/关速度≤1秒
温度范围FKM座椅密封圈-30°C 至 150°C(约)
丁腈橡胶座密封圈-25°C 至 80°C(约)
电磁阀电压AC220V,50Hz,6W 或按需定制
配备位置指示器可选信号反馈

气动L型ISO角阀,带波纹管,常闭

304 型号 尺寸/规格 A/mm 直径/毫米 D1/mm 净重/千克
VZL02LC43B1S63 ISO63 88 95 70 275
VZL02LC43B1S80 ISO80 98 110 83 325
VZL02LC43B1S100 ISO100 108 130 102 355
VZL02LC43B1S160 ISO160 138 180 153 485
VZL02LC43B1S200 ISO200 200 240 213 620
VZL02LC43B1S250 ISO250 208 290 261 665
VZL02LC43B1S300 ISO300 250 370 318 830
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