真空室制造详解：面向国际买家的分步入门指南。

1. 工程与准备

1.1 设计包

几何形状：定义内部布局、泵、压力表和视口，以及电极/目标位置。
真空规格：设定极限压力、泄漏率、耐压；据此选择合金、焊接方法、密封类型。
文件：详细图纸、总装配图、焊接顺序图、完整GD&T。

1.2 材料和耗材

合金：304L/316L 奥氏体不锈钢（低碳、低放气）；可根据要求提供铝合金或钛合金。
耗材：配套填充丝、真空级密封件、CF/KF 硬件。
计量学：氦质谱检漏仪、表面粗糙度计、三坐标测量机。

2. 材料加工

2.1 预处理

脱脂：用碱性溶液或超声波浴去除轧制油。
酸洗钝化：去除氧化层/水垢，恢复氧化铬膜。
防护措施：加工过程中需佩戴手套或使用防护膜。

2.2 切割和成型

切割方式：等离子切割、激光切割或水刀切割。
辊压成型：板辊上的圆柱体；折弯成型的矩形壳体。
机器加工：将密封槽、螺纹端口加工至 Ra ≤ 0.8 µm。
开孔：数控切割窗口、泵端口；倒角。

3.装配和焊接

3.1 钉子组件

定位时尽量减少点焊；选择合适的焊接顺序以平衡收缩。

3.2 焊接

工艺：默认采用 GTAW（TIG）；高纯度接头采用电子束焊接。
验收标准：零气孔、完全熔透、内焊缝光滑；单面焊缝通常采用背面保护，以实现“双面”焊缝。
关键接缝 100% 现场氦气泄漏测试。

4. 焊后操作

4.1 缓解压力

炉内或局部 PWHT 温度为 450–650 °C；大型零件可采用振动消除应力处理。

4.2 最后清洁

对焊接区域进行重新酸洗；超声波清洗→去离子水→热风干燥；经认证残留有机物≤1 mg/m²。

5. 质量验证

尺寸和外观：腔室长度、端口间距、法兰平面度≤0.1毫米/100毫米。
真空：积分泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（或客户等级）。
泵送下降：在公布的曲线范围内达到规定的极限值。
机械方面：在 1.3 倍设计压力下进行静水压或气压耐压试验。

6. 加工和发货

表面处理：玻璃珠抛光、缎面抛光或电抛光（Ra ≤ 0.4 µm）以减少气体负载。
保护措施：PVC薄膜+干燥剂袋，防震箱。
可直接投放至库存或与泵、阀门和沉积源集成。

我们的真空室每个阶段都可追溯至 ISO 9001 和 EN 13980 (ATEX)（如适用），因此无论在全球何处，都能立即投入高真空作业。